<正>著录项申请号:CN201811417317.X申请日:20181126授权公告号:CN109698152B授权公告日:20200915申请(专利权)人:四川大西辰科技有限公司发明人:文鹏主分类号:H01L21/677分类号:H01L21/677 H01L31/18 B66F7/18 B66F7/28