光学薄膜及其进展

作者：范正修

来源：光学学报, 2011, (09): 276-280.

• 薄膜
• 薄膜技术
• 制备
• 检测
• 监控 thin films
• thin film technology
• preparation
• measurement
• monitor

对光学薄膜的性能及制备技术等方面进行了简要的评述,并指出随着科学技术的进步,光学薄膜及相关技术不论从广度还是深度来看都得到了显著发展。

• 单位
  中国科学院上海光学精密机械研究所