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摘要
针对压电陶瓷(PZT)位移平台因迟滞特性而降低系统定位精度的问题，该文采用了一种带有前馈补偿的复合型控制方法。首先建立前馈模型，提出了一种分段式Prandtl-Ishlinskii(P-I)模型，并对所建平台迟滞模型求逆，其建模误差率在0.7%内；然后针对闭环回路设计了串联比例-积分(PI)模拟电路、滤波电路和检测电路，进一步提高了控制系统的响应速度和控制精度。实验结果表明，压电陶瓷位移平台在频率为100 Hz,行程为0～140μm的情况下，基于前馈补偿的复合控制系统的平均绝对误差为0.039μm,最大误差为0.16μm;与仅有前馈控制相比，其控制精度提高了73.76%。
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