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摘要
针对纳米加工中碳化钨模具表面波纹度对非球面玻璃成像性能影响的问题，通过对单点斜轴磨削中的磨削刀具振动分析和磨削理论残余误差分析，阐述磨削工艺参数对表面波纹度的影响机理。结合磨削试验对磨削工艺参数进行优化，得到理想的磨削工艺参数：主轴转速40 000～45 000 r/min，工件转速为200 r/min，工作台轴向进给速度为0.1 mm/min，磨削深度为0.1μm以下时，表面波纹度可达到理想的均匀交叉状态且表面波纹度wz值可控制在30 nm以内。
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单位成都光明光学元件有限公司; 成都工业学院
