双频激光回馈位移测量研究

作者：毛威; 张书练; 张连清; 朱钧; 李岩

来源：Acta Physica Sinica, 2006, 55(9): 4704-4708.

DOI：10.3321/j.issn:1000-3290.2006.09.052

• 激光回馈
• 位移传感
• 自混合干涉
• 双频激光器

提出了一种基于双频激光回馈效应的位移测量系统,并在理论和实验两方面进行了研究.实验中对激光器输出功率变化进行了探测,同时对两正交偏振光的光强变化进行了探测.研究发现当被测物体移动时,激光器输出功率受到调制,物体每移动半个光波长时,回馈信号为调制深度相等的两峰,系统分辨率提高了一倍,达到四分之一光波长.当物体运动方向改变时,两正交偏振光的光强变化顺序也随之改变,可以实现物体位移方向的判断.理论分析及模拟结果与实验结果相符合.研究表明该位移传感系统具有结构简单、分辨率高、可判向、测量范围大、可工作于强回馈区等优点.

• 单位
  精密测试技术及仪器国家重点实验室; 清华大学