永磁薄膜材料的研究进展

作者：郭韦; 倪经; 周俊; 曹照亮; 陈彦

来源：磁性材料及器件, 2016, 47(01): 61-66.

• 永磁薄膜
• 工艺
• 性能
• 应用

永磁薄膜是相关电子器件及系统小型化、集成化的关键材料。首先概括介绍了永磁薄膜的常用制备技术,包括电沉积、溅射、激光脉冲沉积等方法。在此基础上,总结了各种永磁薄膜(金属合金、铁氧体、稀土化合物等)的国内外研究进展,以及在相关器件上的应用。最后展望了永磁薄膜的发展趋势和前景。

• 单位
  西南应用磁学研究所