Power ME MS研究现状及展望

作者：甘霖; 李伟; 杨灿军; 刘宜胜; 宋瑞银; 黎嘉杰

来源：机床与液压, 2004, (09): 5-6+54.

DOI：10.3969/j.issn.1001-3881.2004.09.002

• PowerMEMS
• MEMS
• 电源

归纳了PowerMEMS研究的现状 ,分析了该领域尚待解决的关键问题 ,并对其今后的发展前景给予展望

• 单位
  浙江大学