一种自供电的偏振敏感型光电探测器及其制备方法

作者：周楠; 李俊浩; 谢涌; 李晓波; 李浩然; 党紫薇

来源：2022-11-01, 中国, CN202211356524.5.

本发明公开了一种自供电的偏振敏感型光电探测器及其制备方法,方法包括：微机械剥离法制备二维P-WS-2和N-GeAs-2纳米片；利用紫外光刻技术和镀膜技术在氧化硅衬底上制备数字标记的Mark；通过定点转移的方法在Mark标记的氧化硅衬底上制备二维P-WS-2/N-GeAs-2范德华异质结；在二维P-WS-2/N-GeAs-2范德华异质结上制备对电极图案并蒸镀电极；利用丙酮溶液去胶,得到基于二维P-WS-2/N-GeAs-2范德华异质结的光电探测器。本发明设计的光电探测器结构简单,具有较高的响应度和偏振敏感度、较低的能耗、较快的响应速度,为自供电的偏振敏感型光电探测系统的实现提供了可能。

• 单位
  西安电子科技大学