一种钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法

来源：中国钼业, 2022, 46(05): 7.

<正>专利申请号：CN201911037789.7公开号：CN110670032A申请日：2019.10.29公开日：2020.01.10申请人：金堆城钼业股份有限公司本发明公开了钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法，由以下质量组分组成：Ni 5%～45%,Cu1%～10%，余量为Mo，以上组分的质量分数之和为100%；通过混料—冷等静压—热等静压—去除包套—一火多道次热轧—退火—机加工等，