低温化学气相渗透法制备C_f／TaC复合材料的研究

作者：陈招科; 熊翔; 肖鹏; 李国栋; 黄伯云

来源：无机材料学报, 2007, (02): 287-292.

• TaC
• 化学气相渗透
• 沉积速率
• 微观生长形貌 TaC
• chemical vapor infiltration
• deposition rate
• microstructure growth morphology

利用TaCl5-Ar-CaH6反应体系,用化学气相渗透(CVI)的方法,在炭毡中炭纤维表面沉积TaC．研究了温度对涂层的沉积速率、沉积均匀性、物相组成、微晶尺寸和微观生长形貌的影响．研究结果表明:沉积速率随沉积温度升高先增加后减小,在950℃时达到最大值,在900℃时沉积均匀性最好;在800～1000℃范围内能沉积出结晶度较好的TaC涂层,随着温度升高,微晶尺寸增大;TaC在炭纤维表面为岛状生长模式;随温度升高,岛尺寸先增加后减小,岛扩散能力增强,沉积岛之间相互链接融合．

• 单位
  中南大学; 粉末冶金国家重点实验室