通过一步溶剂热法制备出导电性良好的立方状ITO纳米粉体。研究了不同溶剂、反应温度和反应时间对ITO粉体微观结构和电性能的影响。结果表明,以乙二醇为溶剂,在250℃下反应24h,ITO纳米粉体的电阻率最低为0.2Ω×cm,平均粒径为45.95 nm。随反应时间的延长,通过溶解-再结晶机制,棒状前驱体逐步向立方状In2O3转化。在In2O3晶体形成过程中,乙二醇和四甲基铵根离子吸附在晶体表面,使垂直于(200)晶面的生长速率降低,诱导形成立方状颗粒。