CMOS图像传感器改善灵敏度的工艺研究

作者：叶红波; 史海军

来源：集成电路应用, 2020, 37(01): 23-25.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2020.01.008

• 集成电路制造
• CMOS图像传感器
• 色彩滤镜工艺
• 微透镜工艺
• 灵敏度

CMOS 图像传感器芯片(CIS)的功能是把光学图像的信号转换为电信号,采集电信号并传输图像信号的器件。CMOS 图像传感器广泛应用于手机数码产品、监控、汽车电子、工业应用、AR/VR、医疗以及科学探测等领域。通过对 CMOS 图像传感器色彩滤镜和微透镜工艺进行研究,介质层工艺改善,色彩滤镜材料改善,滤镜工艺改善,微透镜工艺改善来提升 CMOS 图像传感器的光学吸收效率,达到灵敏度提升的效果。