半导体芯片厂Fab无尘室空调的节能方法设计

作者：王伯圣

来源：电子技术, 2023, 52(06): 396-397.

• 半导体芯片制造
• 无尘室设计
• 节能优化

阐述半导体芯片厂Fab无尘室风量、风压、进出风温度、变频控制、空调水、空间布局的节能设计途径，探讨Fab优化空间布局的节能方法，节能计算和分析。