能量回馈型脉冲磁控溅射电源仿真研究

作者：张秀梅; 李红泽; 刘洋; 陈江洋

来源：真空, 2017, 54(02): 56-59.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2017.02.14

• 脉冲磁控溅射电源
• 脉冲发生电路
• 能量回馈
• ARM

本文设计了一种基于ARM数字化控制的能量回馈型脉冲溅射电源,系统采用ARM作为控制器,用于控制PWM驱动信号的产生。详细介绍了脉冲发生电路拓扑结构、分析了脉冲发生电路的工作原理以及控制方法的选用。经MATLAB仿真验证,该电源具有动态特性好,控制简单可靠,能量回馈的特点。

• 单位
  长春工业大学; 电子工程学院