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摘要
基于6英寸(1英寸≈2.54 cm)硅基微电子机械系统(MEMS)加工工艺，采用薄膜体声波谐振器(FBAR)的结构，设计并加工了中心频率为1 268.52 MHz的两款FBAR滤波器芯片，用于满足北斗卫星导航系统中不同位置的信号处理需求。通过改变电路结构和腔体面积比的方法，两款芯片分别实现了高带外抑制和低插入损耗的功能。其中高带外抑制型滤波器在近端频段可以达到50 dBc以上的带外抑制；低插入损耗型滤波器的最小插损为0.51 dB,1 dB带宽可达37 MHz以上。这两款FBAR芯片指标优异，性能稳定且一致性好，可大规模量产，较好地满足了卫星导航系统对微型滤波器的需求。
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