功率器件高温高湿高压反偏测试研究综述

作者：王延浩; 邓二平^*; 黄永章

来源：中国电力, 2020, 53(12): 18-29.

• 功率器件
• 高温高湿高压反偏测试
• 失效分析
• 钝化层
• 封装材料

户外工况下,功率器件寿命受高湿环境中的水汽侵蚀缩短。用于考核湿度可靠性的传统高温高湿反偏测试最大值80V偏压已不能满足高压大功率器件加速老化测试需求,高温高湿高压反偏测试(highvoltagehighhumidityhightemperaturereversebiastest,HV-H3TRB)近年来得以开展。然而,相关研究进展慢、存在的关键问题不明等使得研究发展方向不甚明朗。首先从基本原理出发,详细论述水汽侵入功率器件、腐蚀芯片表面的机理。进一步地,针对研究对象与方法、器件失效分析、电气量老化特征等3个方面对已有研究现状进行论述与总结。最后,根据老化前后器件结构变化,总结芯片层终端、钝化层、封装材料的抗湿优化设计,并指出相关研究后续发展方向。

• 单位
  华北电力大学; 新能源电力系统国家重点实验室