基于PECVD方法制备的透明硅氧烷（SiOxCyHz）阻隔薄膜特性研究

作者：董茂进^*; 冯煜东; 韩仙虎; 蔡宇宏; 秦丽丽; 王毅; 王冠; 马凤英; 王济洲

来源：真空科学与技术学报, 2022, 42(02): 99-103.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202105015

• 硅氧烷薄膜
• 对电极辊
• 等离子体增强化学气相沉积方法
• 阻隔膜
• 透水率

柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求。采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法，卷对卷的方式在聚酯(PET)基膜上，以硅醚(HMDSO)为单体，氧气(O2)为反应气体，制备了柔性硅氧烷(SiOxCyHz)薄膜。研究了膜厚，氧气/单体比例、压力等参数对透水率(WVTR)的影响规律、测试了膜层的组分、透射光谱、应力等特性。研究结果表明，透水率随硅氧烷薄膜厚度增大而减小，随氧气/单体比例增大而减小，随压力减小而增大。500 nm厚的硅氧烷薄膜透水率低于5×10-3g/(m2·day)，可见光谱段(380-760 nm)透光率达到88.6%，表面粗糙度为1.8 nm，薄膜应力随薄膜厚度增加显著增大。

• 单位
  兰州空间技术物理研究所