利用有限元分析软件ANSYS对陶瓷加热器的瞬态温度场进行了仿真分析,得到了氮化铝和氧化铝两种陶瓷基体中两种不同加热膜图形瞬时的温度场分布情况。同时对氧化铝基陶瓷加热器的实验结果和模拟计算结果进行了比较分析,计算结果能够反映真实加热器工作过程,可以为陶瓷加热器的加热膜图形设计提供有效依据。
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