一种复合调整型精密高压电源

作者：陈振生; 刘伯强; 殷淑霞; 祁爽

来源：现代电子技术, 2011, (24): 14-17.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2011.24.010

• 电子束曝光机
• 高压电源
• 制版精度
• 复合补偿 elctron beam exposure apparatus
• high-voltage power supply
• plate making accuracy
• compound compensation

为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施。通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度。

• 单位
  山东凯文科技职业学院; 山东大学