厚度与带隙可调、原子层沉积的超薄五氧化二钒纳米晶薄膜（英文）

作者：张天宁; 王书霞; 黄田田; 魏威; 陈鑫^*; 戴宁

来源：红外与毫米波学报, 2019, 38(01): 3-7.

• 原子层沉积
• 五氧化二钒
• 薄膜

利用原子层沉积方法制备V2O5纳米片晶薄膜.薄膜厚度可以被精确控制,并对纳米晶V2O5薄膜的结构形貌、光学带隙和拉曼振动有显著影响.原子层沉积过程中V2O5薄膜生长的两个阶段导致薄膜具有两个光学带隙,这将有助于理解超薄薄膜生长与功能应用.

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 中国科学院大学; 红外物理国家重点实验室