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摘要
为解决金刚石线切割在型面切割过程中因出现弯丝而影响切割件形状精度的问题,对金刚石线的位置检测控制进行了研究。首先分析了金刚石线切割的弯丝特性及弯丝对切割的不利影响。其次讨论了金刚石线空间位置检测存在的难度,并设计了基于金刚石线位置的检测及控制装置,编写了控制程序,使其能进行金刚石线空间位置的判断并进行反馈控制。最后利用该装置对多晶硅材料进行切割效果的验证试验,试验结果表明:利用该检测系统能有效控制金刚石线切割过程中的弯丝现象,大幅提高切割形状精度。
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单位上海无线电设备研究所
