高功率脉冲非平衡磁控溅射放电特性和参数研究

作者：牟宗信; 王春; 贾莉; 牟晓东; 藏海荣; 刘冰冰; 董闯

来源：核聚变与等离子体物理, 2010, 30(4): 365-369.

DOI：10.3969/j.issn.0254-6086.2010.04.016

• 磁控溅射
• 放电
• 脉冲技术

用线圈电流控制非平衡磁场,用汤森放电击穿形成深度自触发放电,用磁阱捕获放电形成的二次电子和导致漂移电流,形成了高功率非平衡磁控溅射放电.采用偏压为-100V相对磁控靶放置的圆形平面电极收集饱和离子电流;在距离磁控靶14cm的位置由Langmuir探针测量浮置电位;示波器测量磁控靶的脉冲电压、电流、浮置电位和饱和离子电流信号.装置的放电脉冲功率达到0.9MW,脉冲频率最大值为40Hz左右,空间电荷限制条件是控制电子电流和离子电流的主要机制.

• 单位
  大连理工大学