对多晶硅工艺副产物四氯化硅进行回收，并结合下游制备氮化硅粉体的利用路线，研究可行、高效的回收精制工艺。分别针对还原尾气、四氯化硅废液的组成特点设计四氯化硅回收工艺，并通过四氯化硅精制工艺将四氯化硅产品与其他氯硅烷进行分离，使其满足氨解法制氮化硅对原料的要求。使用AspenPlus对上述工艺进行建模分析，并通过工艺能量集成进一步降低工艺整体能耗，使该利用路线更具备竞争力。
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