低温Si(111)-7×7表面Pb纳米薄膜的生长模式与沉积速率的依赖关系

作者：周杰; 朱鸿斌

来源：低温物理学报, 2016, 38(05): 56-61.

DOI：10.13380/j.cnki.chin.j.lowtemp.phys.2016.05.010

• 金属薄膜
• 外延生长
• 沉积速率

本文利用超高真空腔室中的分子束外延手段在低温Si(111)衬底上外延生长Pb纳米薄膜.分析了不同沉积速率下Pb纳米薄膜的尺寸、台阶高度等参数变化情况,研究了不同条件下薄膜的形貌特性,并据此提出Pb纳米薄膜在不同沉积速率下的生长模式差异.

• 单位
  中国科学技术大学