氮化硅薄膜的光致发光机制

作者：何贤模; **; 芦伟

来源：材料导报, 2012, 26(19): 41-44.

• 氮化硅薄膜
• 光致发光
• 机制 SiNx films
• photoluminescence
• mechanism

SiNx的结构和性能都会随x值发生显著变化,尤其是薄膜的发光性质。同时,在不同条件下制备的SiNx薄膜中都观察到了可见光致发光现象,研究者提出了相应的机制予以解释。总结了近十年来关于SiNx薄膜的光致发光研究进展,评述了其各种发光机制。

• 单位
  电子工程学院; 西南民族大学; 四川师范大学