粗铝丝超声键合的尾丝控制研究

作者：贺从勇; 李双江

来源：微电子学, 2022, 52(03): 513-518.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.210416

• 粗铝丝键合
• 尾丝
• 质量控制

针对自动粗铝丝超声楔焊键合的尾丝质量问题，剖析了键合尾丝的形成机理，建立了键合尾丝缺陷故障树，构建了键合尾丝缺陷的因果关系图，提出了尾丝缺陷现象与根源因素的影响关系矩阵，确立了尾丝质量控制的关键控制点和控制要求。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十四研究所