科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积Cr N层、Zr YN层，制备不同厚度Zr YN层的Cr N/Zr YN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明：随着Zr YN层厚度的增大，纳米多层膜中Cr N相的结晶程度呈现出先上升后下降的趋势；纳米多层膜的硬度、弹性模量、韧性也呈现出先增大后减小的趋势；当Zr YN层厚度为0.9 nm时，纳米多层膜具有最高的硬度、弹性模量、韧性，分别为20.3 GPa、210.4 GPa、2.25 MPa·m1/2。上述结果表明，随着Zr YN层厚度的增大，纳米多层膜出现由晶态向非晶态转变，在非晶态下，能够获得良好的综合力学性能。
- 单位
