集成电路工艺课程的教学实践

作者：李严; 殷树娟; 倪晓明; 李涵; 吴秋新; 邓伟

来源：集成电路应用, 2022, 39(03): 20-22.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.03.009

• 集成电路制造
• 单晶硅制备
• 光刻工艺
• 扩散工艺

阐述集成电路工艺课程的教学内容，集成电路工艺课程教学对于其他集成电路类课程的作用，包括单晶硅制备流程、光刻工艺的步骤、扩散工艺流程。

• 单位
  北京信息科技大学