TC-SAW滤波器仿真与设计技术

作者：陈晓阳; 苏波; 叶志; 史向龙; 范佰杰; 张俊茜; 于倩至

来源：压电与声光, 2023, 45(04): 560-565.

• 声表面波(SAW)
• 滤波器
• 高温稳定型声表面波(TC-SAW)
• 三维耦合模式模型(COM)
• FEM/BEM

该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料，在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库，并置于设计仿真软件中，最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波器的设计优化。根据指标要求设计目标函数，设计出满足要求的低损耗TC-SAW滤波器。利用多层FEM/BEM软件对性能进行精确验证，实验结果与仿真结果吻合良好。