基于光波导的高耦合效率垂直耦合结构设计

作者:来新泉; 王一鸣; 刘晨; 张凌飞
来源:半导体光电, 2018, 39(05): 686-689.
DOI:10.16818/j.issn1001-5868.2018.05.016

摘要

针对目前光电印制板(OEPCB)中光电器件与光波导对接的垂直耦合结构耦合效率较低的问题,分析了传统嵌入式45°反射微镜的垂直耦合结构,提出了一种新的垂直耦合结构,经Matlab仿真验证其具有更高的垂直耦合效率。研究表明,新结构对光电对准精度要求不高,受传统PCB制作工艺的层压的高温高压影响更小、便于兼容传统PCB制作工艺。

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