ICP-MS法测定电子级高纯盐酸中的痕量元素

作者：周豪; 魏永明^*; 杨虎

来源：现代化工, 2023, 43(12): 221-224.

DOI：10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2023.12.040

• 电子级高纯盐酸
• 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)
• 痕量元素

为了有效检测电子级高纯盐酸中的痕量元素，利用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)进行测定，用全基体进样系统(AMS)进样，用标准加入法进行上机检测，无需前处理，避免了在样品前处理时的污染问题。电感耦合等离子体质谱法可以消除多分子离子干扰，降低检出限，提高定量准确性。该方法的检出限为0.05～5.4 ng/L,加标回收率为96%～108%,稳定性RSD均不超过5%;操作简单，结果可靠，适用于高纯盐酸中痕量元素的快速测定。

• 单位
  华东理工大学; 化学工程联合国家重点实验室