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摘要
本发明涉及一种半导体工艺过程监测与预警系统,包括：数据采集节点,用于采集监测数据；嵌入式系统平台,连接数据采集节点,用于当监测数据超过预设阈值时,生成预警信息；预警模块,连接嵌入式系统平台,用于根据预警信息发出告警信号；云服务器,连接嵌入式系统平台,用于接收并存储监测数据和预警信息；远程控制终端,连接云服务器,用于获取监测数据和预警信息。本发明提出的系统,包括多个可选的数据采集子节点,通过嵌入式系统平台对采集到监测数据进行分析和处理,当监测数据超过预设阈值时,生成预警信息；预警模块会根据预警信息进行及时进行报警,可同时满足实验室内对实验仪器监控和预警的需求。
- 单位
