有研集团研制的国内单枪最大功率电子束熔炼炉投产

来源：中国有色冶金, 2021, 50(06): 96.

<正>11月8日,随着有研集团所属有研工研院设计制造的GREB2800大型电子束熔炼炉在丽水成功"点火开炉",国内第一个电子级超大规模集成电路制造用超高纯钽材料产业基地正式投产。全球应用于高端芯片制造用超高纯钽材技术被美国和日本的两家公司垄断,我国完全依赖进口。国产超高纯钽材料产业基地的建成,填补了该领域的空白,将结束我国长期依赖进口的局面。