用溶胶-凝胶和化学气相沉积相结合的方法制备出了Ag掺杂Zn O纳米管阵列。XRD分析表明具有单一六方纤锌矿结构。根据扫描电镜和透射电镜对其形貌的表征结果,表明Ag掺杂Zn O纳米管阵列为V-L-S生长机制。荧光光谱分析,本实验样品为O缺陷越多的材料,在纳米光电器件中将有很好的应用前景。