本文在十字固端梁光学应变结构的基础上,针对其应变较小,容易受到外界震动、杂波及微扰动影响的缺点,对其进行结构优化。基于硅微机械加工原理设计了一种轿型新型传感应变结构。利用有限元分析法对两种结构进行了对比,表明轿型结构应变单元应变较大,具有一定程度的抗干扰能力,实现了一定范围内的低频交流电压、直流电压及静电电压的测量。
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