一种基于图案化疏水层的微透镜阵列的制备方法

作者：徐苗; 陆红波; 邱龙臻

来源：2020-08-18, 中国, CN202010833198.7.

本发明提供一种基于图案化疏水层的微透镜阵列的制备方法,涉及微纳加工技术领域。具体操作步骤是：在导电的透明基板表面涂覆光刻胶；通过紫外光刻的方法对光刻胶进行曝光、显影、烘烤等得到图案光刻胶层；在图案光刻胶层的透明基板表面涂覆疏水层溶液,加热,形成透明疏水层薄膜,去除剩余光刻胶,获得阵列图案化疏水层；在具有阵列图案化疏水层修饰的透明基板上涂覆光敏或热敏的液态树脂,由于亲疏水图案表面差异,液态树脂将附着在亲水区域,自组装形成微滴阵列,紫外线固化或加热固化,得到微透镜阵列。本发明制备的微透镜阵列均一度高、填充率高、光学性能好,另一方面本发明加工效率高,加工成本低,易于大规模生产。

• 单位
  合肥工业大学