基于视频图像的坩埚气泡三维测量方法

作者：赵谦; 郑超^*; 尹怡晨; 马文越

来源：国外电子测量技术, 2022, 41(10): 178-184.

DOI：10.19652/j.cnki.femt.2204142

• 石英坩埚
• 气泡检测
• 聚焦
• 图像处理

针对现有坩埚气泡检测只能进行二维测量的问题，提出一种三维空间气泡检测方法。首先，利用数码显微镜采集坩埚透明层空间视频图像，并对图像序列进行增强、分割、填充处理；为准确识别聚焦气泡，提出一种基于图像质心邻域的气泡分类筛选算法；最后基于图像深度标定信息，提出一种基于阈值聚类特征树的平衡迭代规约和聚类算法(BIRCH),通过聚类实现气泡三维重建。选取不同坩埚样品进行测试，实验结果表明，方法对气泡的平均识别准确率为95.9%,能够准确统计出坩埚透明层空间气泡分布情况，验证了方法的可行性，对坩埚质量检测具有较高参考价值。

• 单位
  通信与信息工程学院; 西安科技大学