全自动化学抛光机系统设计

作者：薛书亮; 张博; 赵永进; 王文丽; 潘峰; 陈威

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(06): 28-31.

• 碲锌镉晶片
• 化学抛光机
• 系统设计

针对碲锌镉晶片的化学抛光处理工艺需求,按照全自动工艺处理要求,设计了一套全自动化学抛光设备,实现了自动上下料、自动抛光、自动清洗吹干等工艺步骤,并介绍了全自动化学抛光设备的系统设计及实现。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所