KPFM测试参数对表面电势测量的影响

作者：冯凯; 白刚; 王美玲; 菅傲群^*

来源：微纳电子技术, 2018, 55(12): 922-926.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2018.12.011

• 开尔文探针力显微镜(KPFM)
• 高定向热解石墨(HOPG)
• 滤波器阶数
• 灵敏度
• 驱动值

开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种可以对材料表面电势进行纳米级成像的工具,是研究纳米材料表面特性的一种重要手段。高定向热解石墨(HOPG)具有表面光滑、导电性好的特点,在原子力显微镜(AFM)的KPFM模式下,向HOPG表面施加不同电压,测量HOPG的表面电势,以结果作为参照,采用控制变量法分别对比了滤波器阶数、灵敏度和驱动值三种参数对表面电势测量的影响。实验结果表明:滤波器阶数、灵敏度和驱动值均对表面电势的测量有不同程度的影响,不同程度增加滤波器阶数、灵敏度和驱动值都可以起到提升信噪比的作用,其中灵敏度的提升对信号的影响最为显著。

• 单位
  太原理工大学