蓝宝石衬底表面缺陷成因分析与改进措施

作者：刘建飞; 周志豪^*; 吴丽琼; 黄建烽

来源：工业技术创新, 2020, 07(03): 52-56.

DOI：10.14103/j.issn.2095-8412.2020.03.010

• 蓝宝石衬底
• 表面缺陷
• 量产
• 失效模式
• 接触式检测
• 非接触式检测

蓝宝石衬底在实际量产中,约10%～15%会产生表面缺陷,导致成品返工或报废,经济损失较大。分析实际量产作业中设备与工艺过程,探究和比较刮伤、坑洞、气泡、颗粒、崩角、色差共6种表面缺陷的失效模式,提出了技术和工艺改善措施。在检测方式上,对比了接触式及非接触式检测工具与原理,探讨了各自的分辨率与呈现方式,为得到更有效的改善技术和工艺奠定了基础。过程改进后,量产作业表面缺陷占比降低至5%～8%。若要实现更低的表面缺陷占比,需进一步改良工艺过程和机台硬件配置。