VC/Ni纳米叠层薄膜的制备及力学性能

作者：周小军; 易健宏; 倪成林; 徐成竹; 黄峰; 张学东; 徐英

来源：航空材料学报, 2014, 34(01): 39-45.

• 磁控溅射交替沉积
• VC/Ni
• 纳米叠层
• 调制周期
• 韧性

采用中频脉冲磁控溅射双靶交替沉积,制备了调制周期为4nm,12nm和88nm的VC/Ni纳米叠层薄膜以及纯VC薄膜。利用XRD和SEM对薄膜结构进行分析,并通过纳米压痕和维氏压痕对薄膜的硬度、模量以及韧性进行了表征。结果表明:双靶交替沉积制备的VC/Ni纳米叠层薄膜界面清晰、薄膜生长比较致密;三种周期的叠层薄膜硬度均为20GPa,与纯VC薄膜相比韧性得到了明显的改善;随着调制周期的增加,发现VC/Ni纳米叠层薄膜的硬度先增大后减小,韧性先降低,后提高,存在一个性能转折的临界周期。

• 单位
  中国科学院; 昆明理工大学