感应等离子制备喷涂靶材用球化钽粉工艺研究

作者：庞小肖; 原慷; 彭浩然; 张鑫

来源：有色金属工程, 2022, 12(08): 1-8.

• 感应等离子
• 球化率
• 钽粉
• 溅射靶材

采用感应等离子技术对喷涂靶材用钽粉进行球化处理，以不规则冶金级钽粉为实验原料，研究了等离子气体流量、等离子功率、载气流量和送粉速率对钽粉球化率的影响。使用扫描电子显微镜(SEM)对粉末形貌进行表征，并采用Image J软件图像处理与分析方法进行粉末球化率测试。结果表明，感应等离子工艺参数的变化可以显著改变粉体球化率，当使用气体流量适当增加、等离子功率增加、载气流量适当降低、送粉速率降低时有利于粉末化率的提高，当优选的球化工艺为氢气流量PG3、等离子功率15 kW、载气流量CG3、送粉速率FR2时，可得到高品质球形钽粉。