Flash ROM的X微束辐照试验研究及失效机理分析

作者：闫逸华; 陈伟; 郭红霞; 范如玉; 邓玉良; 郭晓强; 丁李利; 林东生; 张科营; 张凤祁

来源：核技术, 2013, 36(03): 37-43.

• X射线微束
• Flash ROM
• 局域总剂量
• 错误位图映射

Flash ROM芯片的存储阵列和外围电路均具有较高的辐射易损性,辐射损伤模式多样。为对其辐射敏感电路进行定位和分析,本文采用X射线微束开展局部辐照试验研究。分别研究了存储阵列,译码电路以及电荷泵等不同电路模块所引起的失效表征,利用错误位的逻辑地址映射图,总结错误分布规律,结合相应电路结构对其失效机理进行分析。辐照存储阵列会导致规则分布的0→1翻转错误,而译码电路出错会导致1→0的错误,电荷泵电路退化则会导致器件擦除和写入功能的失效。微束辐照结果可以有效补充全芯片总剂量效应考核的不足,为器件的抗辐射加固提供有益的参考。

• 单位
  西北核技术研究所; 清华大学; 深圳市国微电子股份有限公司