双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试

作者：刘林仙; 张**; 许姣; 张文栋

来源：振动与冲击, 2013, (02): 129-134.

DOI：10.13465/j.cnki.jvs.2013.02.002

• MEMS
• 仿生
• 矢量水听器
• 双T型
• ANSYS MEMS
• bionic
• vector hydrophone
• double T-shaped
• ANSYS

根据当前声纳系统的需求,以MEMS技术为依托,结合仿生原理、压阻原理,提出了一种双T型矢量水听器。在分析T型梁结构力学特性的基础上,详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用ANSYS软件仿真,得出两种微结构的谐振频率分别为1 993.3 Hz和10.17 kHz;利用MEMS加工工艺加工出水听器微结构并对水听器进行了封装;采用振动台标定和水下驻波场测试相结合的方法完成了水听器的测试。测试结果表明两种结构的双"T"型矢量水听器灵敏度达到-180 dB和-192 dB(1 kHz,0 dB参考值1 V/μPa),具有良好的"8"指向性,矢量特性明显,动态范围为90.48 dB(315 ...

• 单位
  中北大学