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摘要
为提高单晶锗的表面加工质量，减少工件表面的崩碎及微裂纹，采用激光原位加热辅助单点金刚石车削的加工方式对单晶锗进行加工。主要研究了激光原位加热辅助单点金刚石车削工艺和常规单点金刚石车削工艺对单晶锗(111)晶面加工性能的影响，通过对比工件的表面粗糙度、位错密度及残余应力，分析激光辅助单点金刚石车削带来的效益。试验结果表明，数控车床上采用相同切削工艺参数时，相比于常规加工方式，激光原位辅助加工方式的工件表面粗糙度由193.3nm降低到17.5nm;位错密度通过半峰宽数值表征，激光原位辅助加工方式的半峰宽数值明显下降，由58.9043降低到43.2567,降低了26.6%,有效降低了位错密度。
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