高可靠数字集成电路的BiCMOS工艺设计

作者：刘云洁; 蒲耀川; 王轶军; 李文军; 潘照霞; 任雄

来源：集成电路应用, 2023, 40(10): 36-37.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.10.013

• 集成电路制造
• BiCMOS
• 器件结构
• 工艺设计

阐述一种基于5V BiCMOS高可靠数字集成电路的器件结构、工艺设计和工艺开发,并对该器件的电参数进行测试,与试验仿真值进行比对分析,结果相符合。

• 单位
  天水天光半导体有限责任公司