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摘要
针对毫米波片上滤波电路所面临的大尺寸与高损耗问题，本文提出一种基于外部品质因素以及MIM电容加载的小型化片上滤波功分器。提出由两种集总电容和分布式传输线电感构成的片上谐振器实现结构小型化，并基于输入外部品质因数提出小型化滤波功分器拓扑。为提高滤波功分器的输出隔离，提出基于复数阻抗和表面波抑制条带的高隔离电路结构。最后，基于砷化镓衬底的集成无源器件（IPD）工艺设计一款两路等功分28 GHz片上滤波功分器，插入损耗仅为0.9 dB（不考虑功分），尺寸仅为0.7 mm2，全频段输出隔离大于17 dB。
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