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摘要
基于当前高能同步辐射光源(HEPS)装置的沉降监测需求，课题组设计关键参数和结构，研制了国内首个微米级单极板电容式静力水准器样机。本文重点研究该水准器的标定和精度验证，针对传统的标准量块和位移台标定法存在标定精度低、机械加工要求高等问题，创新性采用单水准器直接标定法和多段拟合参数获取方案，实现10 mm量程的微米级标定；同时提出采用激光反馈干涉仪联合纳米级位移台直接监测液位变化，实现单水准器的全量程精度验证，精度3μm;通过重载位移台进行了7 m距离的两点监测系统的精度验证，在10 mm量程内相对高程监测精度可达到5μm。结果表明样机精度符合设计要求，可为我国大型装置的高精度高程向监测提供可靠手段。
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单位散裂中子源科学中心; 北京理工大学
