摘要

<正>0前言金属丝线接合(Bonding)是当前封装技术前沿,对接合连接盘顶部宽度有一定要求,但在蚀刻能力(蚀刻因子)一定的前提下,需要的顶部宽度越大,线路设计相应越宽。同时,设备小型化的趋势,要求线路精密化。因此,线路精密化与接合连接盘顶部宽度为一组需要协调的矛盾。本文介绍一种在不提升设备能力的前提下,通过优化线路设计,提升接合连接盘顶部宽度能力