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摘要
本发明涉及一种双异质结和复合钝化层的IMPATT二极管,包括：衬底层；外延层,位于衬底层上层；欧姆接触层,位于外延层中间的上层；第一漂移区,位于欧姆接触层中间的上层；第二漂移区,位于第一漂移区上层；雪崩区,位于第二漂移区上层；欧姆接触电极,位于欧姆接触层两侧和欧姆接触层两侧的上层；第一钝化层,位于欧姆接触层上层和欧姆接触电极上层,且位于第一漂移区两侧、第二漂移区两侧和雪崩区两侧；第二钝化层,位于第一钝化层上层；肖特基接触电极,位于雪崩区上层和第二钝化层上层。本发明提出的二极管,提高了雪崩区载流子电离率,雪崩效应被限制在雪崩区,减小了雪崩区宽度,改善了功率输出能力。
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